Photomask Blanks缺陷檢查裝置

簡要描述：LODAS™ – BI8是列真株式會社推出的一款Photomask Blanks缺陷檢查裝置。

產(chǎn)品型號：LODAS™ – BI8
廠商性質(zhì)：代理商
產(chǎn)品資料：
更新時間：2025-09-04
訪問量： 3173

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可檢查鉻膜、半色調(diào)膜、光阻膜
白缺陷、黑缺陷的自動判別
不僅是表面缺陷，內(nèi)部缺陷和背面缺陷也同時檢查。
有助于缺陷分析的4種Review圖像。
“AI Classify"進(jìn)行缺陷分類、好壞判定。
免維護(hù)。
世界FIRST使用反射散射光、透射散射光、共聚焦光的混合檢查裝置。
能檢出至今為止檢查不出的缺陷。

檢出缺陷：顆粒、劃痕、凹坑、氣泡。

規(guī)格：

檢查激光：405nm 200mW LaserDiode
檢查時間：180sec
檢查對象：6英寸 Photomask blanks
設(shè)備尺寸：WxDxH＝450x500x730mm
使用電源：AC100V~200V 10A

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